◆ 國內(nèi)首家實現(xiàn)探針和樣品組合式移動掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡；

◆ 國內(nèi)首家采用三軸獨立閉環(huán)壓電平移式掃描臺，實現(xiàn)大范圍高精度掃描；

◆ 三軸獨立式掃描，XYZ互不影響，非常適合三維材料及形貌檢測；

◆ 電動控制樣品移動臺和升降臺，可任意編程多點位置實現(xiàn)快速自動化檢測；

◆ 龍門架式掃描頭設(shè)計，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式載物臺；
◆ 馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品；
◆ 高倍輔助光學(xué)顯微定位，實時觀測與定位探針以及樣品掃描區(qū)域；

◆ 閉環(huán)壓電掃描臺無需非線性校正，納米表征和測量精度優(yōu)于99.5%。

技術(shù)參數(shù)



應(yīng)用案例